Verfahrensangaben

Qualität

Der Auftrag ist gem. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) ii) RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 4 Nr. 2 lit. b VGV) im Verhandlungsverfahren ohne vorherige Bekanntmachung zu vergeben, da der Auftragnehmer alleiniger Lieferant der vertragsgegenständlichen - in dieser sehr komplexen Form an besondere Anforderungen geknüpften - Leistungen ist. Nur aufgrund dieser Alleinstellung kann die Universität Siegen objektiv den essentiellen Dienstbetrieb der Hochschule mit allen seinen Bereichen und damit den Teil der Daseinsfürsorge des Bildungsauftrages aufrechterhalten - mithin wurde keine künstliche Einschränkung der Auftragsvergabeparameter vorgenommen und es gibt keine vernünftige Alternative oder Ersatzlösung i.S.v. Art. 32 Abs. 1 i.V.m. Abs. 2 lit b) Satz 2 RL 2014/24/EU (§ 14 Abs. 6 VGV).
Im Zuge der Anschaffung hochspezialisierter Ausrüstung für die Präparationslabore der zentralen Analytik im INCYTE-Forschungsneubau wurde der Bedarf an einem Hochvakuum-Beschichtungssystem deutlich. Das Gerät wird Proben für die Raster- und Transmissionselektronenmikroskopie sowie für die FIB-Präparation metallisch besputtern und mit Kohleschichten versehen und sie anschließend ohne Atmosphärenkontakt an die vorhandene Vakuum-Transferkette der zentralen Analytik übergeben. Das Leica EM ACE600 ist das einzige System, das diese Anforderungen durch die Kombination seiner Merkmale vollständig erfüllt.
Ein herausragendes Alleinstellungsmerkmal des EM ACE600 ist der kammerseitige Anschluss für ein Vakuum-Transfersystem, dessen Flansche serienmäßig in die Prozesskammer integriert sind. Über diesen Anschluss fügt sich das Gerät in die am Lehrstuhl vorhandene Transfertechnik der Firma Ferrovac ein: Die Probe verlässt die Beschichtungskammer unter Vakuum und gelangt ohne Atmosphärenkontakt an das nächste Instrument. Für luft- und feuchteempfindliche Materialien ist das die Voraussetzung dafür, dass die Beschichtung auf einer unveränderten Oberfläche aufsetzt und die Probe unverändert in die Analytik gelangt. Derselbe Anschluss lässt eine spätere Erweiterung auf Kryotransfer zu, ohne dass das Gerät ersetzt werden müsste. Vergleichbare Beschichtungssysteme anderer Hersteller sehen für luftempfindliche Proben stattdessen den Betrieb des Geräts in einer Glovebox vor; eine Übergabe der Probe an eine bestehende Vakuum-Transferkette ist damit nicht möglich.
Ein weiteres Alleinstellungsmerkmal ist das erreichbare Kammervakuum von <oder = 2 × 10 hoch-6 mbar, erzeugt von einem vollständig integrierten ölfreien Pumpsystem aus 4-stufiger Membranpumpe (13 l/min) und Turbomolekularpumpe (67 l/s). Die kohlenwasserstofffreie Kammer ist Voraussetzung für kontaminationsarme Schichten in der nachgelagerten hochauflösenden Analytik und zugleich dafür, dass die Probe im Anschluss unter Vakuum übergeben werden kann. Das Quorum Q300T ES Plus erreicht demgegenüber 5 × 10 hoch-5 mbar und liegt damit um mehr als das Zwanzigfache darüber.
Ein weiteres Alleinstellungsmerkmal ist die gleichzeitige Bestückung der Kammer mit einer Sputter- und einer Kohlefadenquelle. Beide Verfahren sind in einem Gerät ohne Brechung des Vakuums nutzbar und lassen sich als programmierte Sequenz automatisch und reproduzierbar nacheinander ausführen. Das Gerät ist ab Werk in der Ausführung "Sputter/Carbon Thread" mit Planar-Magnetron-Sputterkopf und Kohle-Gewindekopf konfiguriert; eine nachträgliche Umrüstung ist nicht erforderlich.
Außerdem erfüllt das EM ACE600 die weiteren Anforderungen an die Schichtqualität: Ein integrierter Schichtdickenmonitor auf Basis der Quarzkristallmessung kontrolliert die Schichtdicke in situ mit einer Genauigkeit von 0,1 nm. Die um 25° gekippten Quellen sorgen zusammen mit der Tischrotation für eine homogene Beschichtung, das Kohlefaden-Pulsverfahren liefert artefaktfreie, reproduzierbare dünne Kohleschichten, der Sputterstrom ist stufenlos bis 150 mA einstellbar, und die Prozessführung erfolgt rezeptbasiert über einen integrierten Touchscreen.
Eine Alternative, die den dargestellten Bedarf in gleicher Weise deckt, steht nicht zur Verfügung. Ein Beschichtungssystem ohne Anbindung an die vorhandene Transfertechnik würde entweder den Verzicht auf den vakuumgeschützten Probentransfer bedeuten oder den Austausch der bereits installierten Transferkette erfordern; beides ist mit unverhältnismäßigen technischen Schwierigkeiten und Kosten verbunden. Die Anforderungen folgen aus dem wissenschaftlichen Bedarf und aus der vorhandenen Ausstattung der zentralen Analytik; sie wurden funktional und nicht produktbezogen formuliert.
Damit erweist sich das Leica EM ACE600 als das einzige System, das die geforderte Sputter- und Kohlefadenbeschichtung mit der Übergabe der Probe an die vorhandene Vakuum-Transferkette verbindet. Es ist flexibel konfigurierbar, hochpräzise in der Prozessführung und schließt die Probenkette von der Beschichtung bis zur Mikroskopie ohne Atmosphärenkontakt.