Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS
| VO: | VgV | Vergabeart: | Wettbewerblicher Dialog mit Teilnahmewettbewerb | Status: | Veröffentlicht |
Kommunikation
Es liegen folgende Nachrichten der Vergabestelle vor.
Betreff:
AW: Fragen zu Vorbereitung weiterer Gaslinien und der Installation
Datum:
28.08.2026 - 08:07 Uhr
Nachricht:
Sehr geehrte Damen und Herren,
bitte beachten Sie die angehängte Bieterinformation, in welcher wir eingegangene Bieterfragen beantworten.
Mit freundlichen Grüßen
Die Zentrale Beschaffung
Dateianhänge:
| Dateiname | Hinzugefügt am | Typ | Größe | Aktion |
|---|---|---|---|---|
| 2026-08-25 Question list DE-Antworten-1.pdf | 28.08.2026 | 230,5 KB |