Wartungsarbeiten am Montag, 31.08.2026 von 14:00 bis 16:00 Uhr

Verfahrensangaben

Ätzanlage zum tiefen Silicium-Ätzen für MEMS

VO: VgV Vergabeart: Wettbewerblicher Dialog mit Teilnahmewettbewerb Status: Veröffentlicht

Fristen

Fristen
14.09.2026 12:00 Uhr

Adressen/Auftraggeber

Auftraggeber

Auftraggeber

Ruhr-Universität Bochum
05911-06001-11
Universitätsstraße 150
44801
Bochum
Deutschland
DEA51
beschaffung@rub.de
+49 23432-0

Angaben zum Auftraggeber

Körperschaften des öffentlichen Rechts auf Landesebene
Bildung

Gemeinsame Beschaffung

Beschaffungsdienstleister
Weitere Auskünfte
Rechtsbehelfsverfahren / Nachprüfungsverfahren

Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen
05515-03004-07
Albrecht-Thaer-Str. 9
48147
Münster
Deutschland
DEA33
vergabekammer@bezreg-muenster.nrw.de
+49 251-4111691
+49 251-4112165

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen
05515-03004-07
Albrecht-Thaer-Str. 9
48147
Münster
Deutschland
DEA33
vergabekammer@bezreg-muenster.nrw.de
+49 251-4111691
+49 251-4112165

Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

Vergabekammer der Bezirksregierung Westfalen
05515-03004-07
Albrecht-Thaer-Str. 9
48147
Münster
Deutschland
DEA33
vergabekammer@bezreg-muenster.nrw.de
+49 251-4111691
+49 251-4112165

Auftragsgegenstand

Klassifikation des Auftrags
Lieferungen

CPV-Codes

38000000-5
Umfang der Beschaffung

Kurze Beschreibung

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

Beschreibung der Beschaffung (Art und Umfang der Dienstleistung bzw. Angabe der Bedürfnisse und Anforderungen)

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt eine DRIE Ätzanlage zu beschaffen, die im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser eingesetzt werden soll. Sie soll auf dem Gebiet der Silicium-basierten Mikro-Elektro-Mechanischen Systeme (MEMS) für das tiefe anisotrope Siliciumätzen auf Basis eines zyklischen Ätzprozesses (DRIE, "BOSCH-Prozess") eingesetzt werden und darüber hinaus der Erforschung neuer Ätzkonzepte dienen, die weniger klimaschädliche Ätzgase nutzen.

Umfang der Auftragsvergabe

1.024.000,00
EUR

Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Unbekannt
Erfüllungsort(e)

Erfüllungsort(e)

---
Universitätsstraße 150
44801
Bochum
Deutschland
DEA51

Weitere Erfüllungsorte

Zuschlagskriterien

Zuschlagskriterien

---
Weitere Informationen

Angaben zu Mitteln der europäischen Union

Angaben zu KMU

Angaben zu Optionen

Zusätzliche Angaben

Verfahren

Verfahrensart

Verfahrensart

Wettbewerblicher Dialog

Angaben zum Verfahren

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Besondere Methoden und Instrumente im Vergabeverfahren

Angaben zur Rahmenvereinbarung

Entfällt

Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem

Entfällt

Angaben zur elektronischen Auktion

Angaben zur Wiederkehr von Aufträgen

Angaben zur Wiederkehr von Aufträgen

Strategische Auftragsvergabe

Strategische Auftragsvergabe

Gesetz über die Beschaffung sauberer Straßenfahrzeuge

Energieeffizienz-Richtlinie

Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen

Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen

Erforderlich
Auftragsunterlagen

Sprache der Auftragsunterlagen

Deutsch
Sonstiges / Weitere Angaben

Kommunikationskanal


https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNYH7D2XQ

Einlegung von Rechtsbehelfen

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Anwendbarkeit der Verordnung zu drittstaatlichen Subventionen

Zusätzliche Informationen

Teilnahmeanträge

Anforderungen an Angebote / Teilnahmeanträge

Übermittlung der Angebote / Teilnahmeanträge

Anforderungen an die Form bei elektronischer Übermittlung

Sprache(n), in der (denen) Angebote / Teilnahmeanträge eingereicht werden können

Deutsch

Varianten / Alternativangebote

Elektronische Kataloge

Nicht zulässig

Mehrere Angebote pro Bieter

Nicht zulässig
Verwaltungsangaben

Nachforderung

Eine Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.

Eine Nachforderung erfolgt im Rahmen einer Ermessensentscheidung des Auftraggebers.

Bedingungen

Ausschlussgründe

Ort der Angabe der Ausschlussgründe

Begrenzung der Bieter

Begrenzung der Bieter

3
Teilnahmebedingungen

Eignungskriterien / Ausschreibungsbedingungen

Eignungskriterium

Eintragung in ein relevantes Berufsregister

Wir sind Mitglied folgender Berufsgenossenschaft(en)*:
Bezeichnung Mitgliedsnummer

* Bezeichnung Mitgliedsnummer

* Bieter, die ihren Sitz nicht in der Bundesrepublik Deutschland haben, geben den für sie zuständigen Träger an.
Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine entsprechende Bescheinigung der Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft ein.

* Eine Haftpflichtversicherung besteht bei folgendem Versicherungsunternehmen:
Versicherer:
Deckungssummen in EUR
Sachschäden
Vermögensschäden
Personenschäden

Auf Wunsch und separate Aufforderung des Auftraggebers reichen wir eine entsprechende Versicherungsbescheinigung ein. Alle Angaben sind in Dokument 02 vorzunehmen.

Gewichtung für den Zugang zur nächsten Stufe

Eignungskriterium

Maßnahmen zur Sicherstellung der Qualität

Zur technischen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen:

a) detaillierte Darstellung des Unternehmens und der Kompetenzschwerpunkte
Hinweis: Die vorstehenden Angaben a) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 - Angebotsvordruck zu verwenden.

Bei Bietergemeinschaften sind diese Angaben für alle Mitglieder der Bietergemeinschaft vorzulegen. Sofern ein Bewerber zum Nachweis seiner Eignung sich auf andere Unternehmen, insbesondere Subunternehmer beruft, sind entsprechende Angaben auch für diese vorzulegen.
Bieter haben im Angebotsvordruck folgende Nachweise in Form von Eigenerklärungen zu erbringen:

- Angabe von mindestens 3 Referenzen zu vergleichbaren Aufträgen
- Eine Erklärung über die Verfügbarkeit eines technischen Services in Deutschland in weniger als einer Woche (5 Arbeitstage) nach Anfrage
- Bestätigung an einem Interesse an einer gemeinsamen Weiterentwicklung von Ätzprozessen.

Gewichtung für den Zugang zur nächsten Stufe

Eignungskriterium

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen

Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen:

Zur wirtschaftlichen und finanziellen Leistungsfähigkeit des Bieters sind von diesem folgende Angaben zu machen:
a) Angaben zum Bestehen einer Haftpflichtversicherung mit Angabe der Deckungssummen für Sach-,Vermögens- und Personenschäden,
b) Angaben Umsatzzahlen der letzten 3 abgelaufenen Geschäftsjahre bezogen auf vergleichbare Aufträge und auf den Unternehmensgesamtumsatz

Hinweis: Die Angaben zu den vorstehenden Buchstaben a) bis b) sind durch Eigenerklärungen zu erbringen. Für die Abgabe der Eigenerklärungen ist zwingend das vom Auftraggeber zur Verfügung gestellte Dokument 02 -Angebotsvordruck zu verwenden.
Möglicherweise geforderte Mindeststandards

Gewichtung für den Zugang zur nächsten Stufe

Finanzierung

Rechtsform des Bieters

Bedingungen für den Auftrag

Bedingungen für den Auftrag

Angaben zu geschützten Beschäftigungsverhältnissen

Nein

Angaben zur reservierten Teilnahme

Angaben zur beruflichen Qualifikation

---

Angaben zur Sicherheitsüberprüfung