Glovebox für Anwendungen in inerter Atmosphäre
VO: UVgO Vergabeart:   Ex post Veröffentlichung (§ 30 Abs. 1) Status: Veröffentlicht

Auftraggeber

Zur Angebotsabgabe / Teilnahme auffordernde Stelle
Ruhr-Universität Bochum
Universitätsstraße 150
44801
Bochum
Deutschland
+49 23432-0
beschaffung@rub.de

Auftragsgegenstand

Umfang der Beschaffung

Art und Umfang der Leistung

Die Ruhr-Universität Bochum beabsichtigt, eine Glovebox für Anwendungen in Stickstoff- oder Argon-Atmosphäre mit integrierter Gas-Reinigungseinheit zu beschaffen. Die Glovebox soll im Forschungslabor Mikroelektronik Bochum für 2D-Elektronik für Wafer-Substrate bis 200 mm Durchmesser im Reinraum eingesetzt werden. Der Reinraum verfügt über eine Basisausstattung für die Prozessierung von 2D- Elektroniksystemen auf Si, Gläsern und flexiblen Substraten bis 200 mm sowie für die Si-basierte MEMS-Präparation von 100 mm und 200 mm Substraten. Die notwendigen Geräte für den Betrieb in der Glovebox sind vorhanden. Die Versorgung der Glovebox mit Stickstoff- oder alternativ Argon-Gas ist vorhanden.

Haupterfüllungsort

Ruhr-Universität Bochum
Universitätsstraße 150
44801
Bochum

Weitere Erfüllungsorte

Ausführungsfristen

Verfahren

Beschreibung

Verfahrensart

Öffentliche Ausschreibung

Vergebene Aufträge

Auftragsvergabe

Wirtschaftsteilnehmer

M.Braun Inertgas-Systeme GmbH
85748
Garching
Deutschland

Sonstige Angaben

AS/4/2025/BVG00017910

Weitere Angaben

Verschiedenes

Zusätzliche Angaben

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