Wartungsarbeiten am 18.08.2025 von 14:00 bis 16:00 Uhr
164 - System zur Elektronenstrahllithografie (EBL-System)
VO: VgV Vergabeart: Offenes Verfahren Status: Veröffentlicht

Fristen

Fristen
09.09.2025
24.09.2025 11:00 Uhr
24.09.2025 11:00 Uhr

Adressen/Auftraggeber

Auftraggeber

Auftraggeber

RWTH Aachen University
053340002002-06001-37
Wüllnerstr. 5
52062
Aachen
Deutschland
DEA2D
Abt. 7.3 Zentraleinkauf
beschaffung@zhv.rwth-aachen.de
+49 2418094200

Angaben zum Auftraggeber

Körperschaften des öffentlichen Rechts auf Landesebene
Bildung

Gemeinsame Beschaffung

Beschaffungsdienstleister
Weitere Auskünfte
Rechtsbehelfsverfahren / Nachprüfungsverfahren

Stelle, die Auskünfte über die Einlegung von Rechtsbehelfen erteilt

Vergabekammer Rheinland
05315-03002-81
Zeughausstr. 2-10
50667
Köln
Deutschland
DEA23
Siehe E-Mail-Adresse und Telefonnummer
vkrheinland@bezreg-koeln.nrw.de
+49 221-1473045
+49 221-1472889

Zuständige Stelle für Rechtsbehelfs-/Nachprüfungsverfahren

Vergabekammer Rheinland
05315-03002-81
Zeughausstr. 2-10
50667
Köln
Deutschland
DEA23
Siehe E-Mail-Adresse und Telefonnummer
vkrheinland@bezreg-koeln.nrw.de
+49 221-1473045
+49 221-1472889

Zuständige Stelle für Schlichtungsverfahren

Auftragsgegenstand

Klassifikation des Auftrags
Lieferungen

CPV-Codes

38000000-5
Umfang der Beschaffung

Kurze Beschreibung

System zu Elektronenstrahllithografie

Beschreibung der Beschaffung (Art und Umfang der Dienstleistung bzw. Angabe der Bedürfnisse und Anforderungen)

Ein System zu Elektronenstrahllithografie (engl. Electron-Beam Lithography (EBL)) ist eine hochpräzise
Technik zur Strukturierung von Materialien auf mikroskopischer Ebene.

Umfang der Auftragsvergabe

1.680.672,27
EUR

Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems

Laufzeit in Monaten
14
Erfüllungsort(e)

Erfüllungsort(e)

---
Otto-Blumenthal-Str. 4
52074
Aachen
Deutschland
DEA2D

Erdgeschoss

Weitere Erfüllungsorte

Zuschlagskriterien

Zuschlagskriterien

---
Weitere Informationen

Angaben zu Mitteln der europäischen Union

Angaben zu KMU

Angaben zu Optionen

Zusätzliche Angaben

Verfahren

Verfahrensart

Verfahrensart

Offenes Verfahren

Angaben zum Verfahren

Angaben zum Beschaffungsübereinkommen (GPA)

Besondere Methoden und Instrumente im Vergabeverfahren

Angaben zur Rahmenvereinbarung

Entfällt

Angaben zum dynamischen Beschaffungssystem

Entfällt

Angaben zur elektronischen Auktion

Angaben zur Wiederkehr von Aufträgen

Angaben zur Wiederkehr von Aufträgen

Strategische Auftragsvergabe

Strategische Auftragsvergabe

Vermeidung und Verminderung der Umweltverschmutzung

Dok 2.2 Stellungnahme Umweltschutz

Gesetz über die Beschaffung sauberer Straßenfahrzeuge

Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen

Angaben zu elektronischen Arbeitsabläufen

Erforderlich
Auftragsunterlagen

Sprache der Auftragsunterlagen

Deutsch
Sonstiges / Weitere Angaben

Kommunikationskanal


https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXS0YD8YTBBYLM1H

Einlegung von Rechtsbehelfen

Die Vergabe unterliegt der Nachprüfung durch die zuständige Nachprüfungsbehörde Vergabekammer Rheinland (vgl. §§ 155 ff. GWB). Nach § 160 Abs. 3 GWB ist ein Nachprüfungsantrag unzulässig, soweit (Nr. 1) der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Abs. 2 GWB bleibt unberührt, (Nr. 2) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, (Nr. 3) Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, (Nr. 4) mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. § 160 Abs. 3 Satz 1 GWB gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Abs. 1 Nr. 2 GWB. § 134 Abs. 1 Satz 2 GWB bleibt unberührt.

Frühere Bekanntmachung zu diesem Verfahren

Anwendbarkeit der Verordnung zu drittstaatlichen Subventionen

Zusätzliche Informationen

Es sind keine weiteren Hinweise notwendig.

Angebote

Anforderungen an Angebote / Teilnahmeanträge

Übermittlung der Angebote / Teilnahmeanträge

Anforderungen an die Form bei elektronischer Übermittlung

Sprache(n), in der (denen) Angebote / Teilnahmeanträge eingereicht werden können

Deutsch

Varianten / Alternativangebote

Elektronische Kataloge

Nicht zulässig

Mehrere Angebote pro Bieter

Nicht zulässig
Verwaltungsangaben

Bindefrist

84
Tage

Bedingungen für die Öffnung der Angebote

Nachforderung

Eine Nachforderung von Erklärungen, Unterlagen und Nachweisen ist nicht ausgeschlossen.

Die Nachforderung von leistungsbezogenen Unterlagen, die die Wirtschaftlichkeitsbewertung der Angebote anhand der Zuschlagskriterien betreffen, ist ausgeschlossen (§ 56 Abs. 3 Vergabeverordnung)

Bedingungen

Ausschlussgründe

Ort der Angabe der Ausschlussgründe

Auswahl der Ausschlussgründe

§ 21 des Arbeitnehmer-Entsendegesetzes, § 98c des Aufenthaltsgesetzes, § 19 des Mindestlohngesetzes, § 21 des Schwarzarbeitsbekämpfungsgesetzes und § 22 des Lieferkettensorgfaltspflichtengesetzes vom 16. Juli 2021 (BGBl. I S. 2959)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 1 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 1 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 2 + 3 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 4 + 5 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 6 - 9 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 1 Nr. 10 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 4 Nr. 1 + 2 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 123 Abs. 4 Nr. 1 + 2 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 1 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 1 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 1 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 2 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 2 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 2 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 3 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 5 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 6 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 7 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

§ 42 Abs. 1 Vergabeverordnung (VgV) i.V.m. §§ 122 Abs. 1, 124 Abs. 1 Nr. 8 + 9 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB)

Teilnahmebedingungen

Eignungskriterien / Ausschreibungsbedingungen

Eignungskriterium

Umweltmanagementmaßnahmen

Dok 2.2 Stellungnahme Umweltschutz (bei Abgabe in VMP keine Unterschrift notwendig) (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): alternativ Zertifikat ISO 14001

Eignungskriterium

Berufliche Risikohaftpflichtversicherung

Eigenerklärung über den Abschluss einer Bieterhaftpflichtversicherung (in Dok 3) (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Die Mindestdeckungssumme für Sach-, Personen- und Vermögensschäden beträgt kumuliert 2.000.000 EUR pro Jahr für alle Schadensfälle.

Eignungskriterium

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen

Eigenerklärung über die Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft (in Dok 3) (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

Eignungskriterium

Eintragung in das Handelsregister

Kopie eines Handelsregisterauszugs (nicht älter als 01.12.2024) (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

Eignungskriterium

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen

Dok 2.1 Eigenerklärung Ausschlussgründe (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

Eignungskriterium

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen

Sofern zutreffen Dok. 15 Bewerber-/ Bietergemeinschaftserklärung (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): (von den Mitgliedern der Bewerbe-/Bietergemeinschaft ausgefüllt und unterschrieben in Textform gem. § 126b BGB)

Eignungskriterium

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen

Dok 2.3 Eigenerklärung-Sanktionen-EU (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

Eignungskriterium

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen

Dok 3 Angebotsschreiben (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

Eignungskriterium

Anteil der Unterauftragsvergabe

Sofern zutreffend Dok 5 Erklärung Nachunternehmer/Eignungsleihe (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

Eignungskriterium

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen

Dok 8 Vergütungszusammenstellung (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

Eignungskriterium

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen

Ggf. Antworten zu den Fragen in Dok 4 Anforderungsprofil auf gesonderter Anlage (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

Eignungskriterium

Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen

Dok 4 Anforderungsprofil (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung):

Eignungskriterium

Referenzen zu bestimmten Lieferungen

Angabe von 2 Referenzen gem. Dok 13 (Mit dem Angebot; Mittels Eigenerklärung): Angabe von 2 Referenzen:
Bitte geben Sie vergleichbare Systeme, inkl. Angabe des Verwendungszwecks, an, welche in den vergangenen 5 Jahren in Betrieb genommen wurden an. Die Referenzen müssen folgende Mindestanforderungen erfüllen:

- Referenzen deutsch- oder englischsprachig
- Beschleunigungsspannung des Geräts 50 - 100 kV
- Die Linienbreite beträgt maximal 8 nm bei einer Beschleunigungsspannung von 100 kV und einem FOV von 100 x 100 µm2
- Die Stitching-Genauigkeit beträgt maximal +/- 9 nm bei einer Beschleunigungsspannung von 100 kV und einem FOV von 100 x 100 µm2
- Es ist eine Probenschleusekammer mit mindestens 6 Plätzen für Probenhalter vorhanden

Die Darstellung der Referenz muss in nachprüfbarer Weise durch Namen des Kunden, Ansprechpartner beim Kunden, Anschriften, E-Mail-Adresse und Telefonnummer des Ansprechpartners beim Kunden erfolgen. Die RWTH behält sich vor, die Referenzen zu überprüfen. Die Angaben werden vertraulich behandelt. Der Bieter wird gebeten, das Einverständnis der angegebenen Referenzkunden vor Ablauf der Angebotsfrist einzuholen.
Nichtüberprüfbare Referenzen führen zum Ausschluss des Verfahrens.

Finanzierung

Rechtsform des Bieters

Mehrere Bieter können sich zu einer Bietergemeinschaft zusammenschließen. In diesem Fall hat die Bietergemeinschaft mit Einreichung des Angebots (i) sämtliche Mitglieder der an der Bietergemeinschaft beteiligten Bieter namentlich mit Anschrift, Telefon-/Telefaxnummer sowie E-Mail-Adresse zu benennen; (ii) einen bevollmächtigten Vertreter für das Vergabeverfahren sowie den Abschluss und die Durchführung des Vertrages zu bezeichnen und; (iii) eine von allen Mitgliedern unterschriebene Vollmacht mittels einer Bietergemeinschaftserklärung vorzulegen, in der die gesamtschuldnerische Haftung aller Mitglieder erklärt wird; (iv) eine detaillierte Übersicht einreichen, die darstellt, welches Mitglied für die Erbringung welcher Leistungen/Dienstleistungen verantwortlich ist.

Bedingungen für den Auftrag

Bedingungen für den Auftrag

Sofern der Bieter sich der Leistungen von Nachunternehmern bedienen möchte, sind folgende Unterlagen von jedem Nachunternehmer über den Bieter einzureichen: Bedingungen an die Ausführung eines Auftrags 1. Dok 6 Verpflichtungserklärung Nachunternehmer (vom Nachunternehmer ausgefüllt, unterschrieben und eingescannt einzureichen) 2. Dok 2.1 Eigenerklärung Ausschlussgründe (vom Nachunternehmer ausgefüllt und unterschrieben in Textform gem. § 126b BGB) 3. Eigenerklärung des Nachunternehmers über die Mitgliedschaft in einer Berufsgenossenschaft 4. Eigenerklärung des Nachunternehmers über den Abschluss einer Betriebshaftpflichtversicherung 5. Kopie eines Handelsregisterauszugs des Nachunternehmers (nicht älter als 01.12.2024)

Angaben zu geschützten Beschäftigungsverhältnissen

Nein

Angaben zur reservierten Teilnahme

Angaben zur beruflichen Qualifikation

Nicht erforderlich

Angaben zur Sicherheitsüberprüfung