Verfahrensangaben

An der Universität Siegen sollen, innerhalb des Reinraums (Gesamtfläche Grau/Weiß: 600m²) des Forschungsgebäudes INCYTE, Gasversorgungs- und Vakuumabgas- Installationsarbeiten zur Festinstallation von vorhandenen Großgeräten (3 x PVD, CVD, PECVD, ALD, RIE,...) erfolgen.

An der Universität Siegen sollen, innerhalb des Reinraums (Gesamtfläche Grau/Weiß: 600m²) des Forschungsgebäudes INCYTE, Gasversorgungs- und Vakuumabgas- Installationsarbeiten zur Festinstallation von vorhandenen Großgeräten (3 x PVD, CVD, PECVD, ALD, RIE,...) erfolgen.
Die Installationen erfordern den Anschluss der Anlagen an das vorhandene Gasnetz mit Anbringung von zusätzlichen Druckmanometern, Verteilern, Armaturen und Absperrventilen.
Bei den Gasen handelt es sich zum Teil um explosive, hoch korrosive und toxische Gase, die eine Ausführung der Gasleitungen in orbital geschweißtem elektropoliertem Edelstahl notwendig machen. Zusätzlich müssen zwingend die den Gasarten entsprechenden Sicherheitsvorkehrungen entsprechend der Normen und üblichen Installationsvorgehen vollumfänglich berücksichtigt werden. Namentliche Gase sind: SiH4, GeH4, PH3, B2H6, H2, CH4, SF6, Ar, O2, N2, C4F8, CHF3, CF4, He.
Weiterhin werden die Abgasleitungen Prozessanlagen an die hausinterne Abluft angeschlossen.

Dazu sind
1. feste KF-Verrohrungen zwischen den Prozesskammern inkl. eventueller Turbopumpe und den entsprechenden Pumpständen (Technikzentrale unterhalb des Grau-/ Weißraums) vorgenommen
2. Anschlüsse der Großgeräte an Gaswäscher (wird bauseits beigestellt) sowie
3. Anschlüsse der Großgeräte an das Abgasnetz und die Kühlwasserversorgung des Hauses vorzunehmen.

Für sämtliche zu installierenden Medien (Gas, Wasser, Vakuumabgas) müssen zwingend vollständige Qualifizierungsprotokolle, Prüfdokumente (inkl. notwendiger Dichtigkeitsprüfmessungen, ...) inkludiert werden. Dabei ist zusätzlich zu den zu installierenden Versorgungsmedien eine vorhandene maschineninterne Verrohrung einer PECVD-Anlage (Gase: SiH4, GeH4, PH3, B2H6, H2, CH4, SF6, Ar, O2) entsprechend selbiger Kriterien zu qualifizieren.

Die Beauftragung umfasst zwei HookUp Phasen. Phase 1 ist geplant für den Zeitraum Q4/25 - Q1/26 und Phase 2 vorr. Q2/26 - Q4/26.

Die Universität Siegen wird die geeigneten Bewerber zur Abgabe eines Angebots auffordern. Ziel ist es zu den Verhandlungsterminen hieraus die besten drei Bieter einzuladen.
Die Auftraggeberin behält sich ausweislich der Bekanntmachung vor, den Auftrag auf der Grundlage der ursprünglichen Angebote zu vergeben, ohne Verhandlungen durchzuführen. Für den Fall, dass Verhandlungen durchgeführt werden, wird die Auftraggeberin nach Abschluss der Verhandlungen gemäß § 17 Abs. 14 S. 1 VgV abschließende Angebote einzuholen. In diesem Fall werden Sie mit gesondertem Schreiben zur Einreichung aufgefordert.
Die Auftraggeberin behält sich vor eine zweite Verhandlungsrunde durchzuführen.

Statthafte Rechtsbehelfe sind gem. §§ 160 ff. GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die Vergabestelle zu richten.
Eine Rüge bzw. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit
- der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt,
- Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden,
- Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden oder
- mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.